Das Prinzip des chemischen Polierens ähnelt dem des elektrolytischen Polierens; auch hier handelt es sich um einen Oberflächenauflösungsprozess. Die selektive Auflösung unebener Stellen auf der Probenoberfläche durch chemische Reagenzien dient der Beseitigung von Verschleißspuren, Erosion und dem Ausgleichen von Unebenheiten.

Vorteile des chemischen Polierens: Die Ausrüstung zum chemischen Polieren ist einfach und kann auch komplexere Formen bearbeiten.

Nachteile der chemischen Politur: Die Qualität der chemischen Politur ist geringer als die der Elektropolitur. Die Einstellung und Regeneration der verwendeten Lösung sind schwierig und die Anwendung ist begrenzt. Bei der chemischen Politur entstehen durch die Salpetersäure große Mengen an gelben und braunen Schadstoffen, die zu erheblicher Umweltverschmutzung führen.