Kjarni efnafræðilegrar fægingar er svipaður og rafgreiningarfægingar, sem er einnig yfirborðsupplausnarferli. Sértæk upplausnaráhrif efnafræðilegra hvarfefna á ójöfn svæði á yfirborði sýnanna eru aðferð til að útrýma slitmerkjum, rofi og jöfnun.

Kostir efnapússunar: efnapússunarbúnaður er einfaldur og ræður við lögun flóknari hluta.

Ókostir efnapússunar: gæði efnapússunar eru lakari en rafpússunar; Aðlögun og endurnýjun lausnarinnar sem notuð er við efnapússun er erfið og takmörkuð í notkun. Við efnapússun gefur saltpéturssýra frá sér mikið af gulum og brúnum skaðlegum lofttegundum sem veldur alvarlegri umhverfismengun.