מהות הליטוש הכימי דומה לזו של הליטוש האלקטרוליטי, שהוא גם תהליך המסת פני השטח. אפקט ההמסה הסלקטיבי של ריאגנטים כימיים על אזורים לא אחידים על פני השטח של דגימות הוא שיטה להסרת סימני שחיקה, שחיקה ויישור.

יתרונות של ליטוש כימי: ציוד ליטוש כימי הוא פשוט, יכול להתמודד עם צורות של חלקים מורכבים יותר.

חסרונות של ליטוש כימי: איכות הליטוש הכימי נחותה מזו של ליטוש אלקטרופוליש; ההתאמה והשחזור של התמיסה המשמשת בליטוש כימי קשים ומוגבלים ביישום. בתהליך הליטוש הכימי, חומצה חנקתית פולטת הרבה גז מזיק צהוב וחום, הגורם לזיהום סביבתי חמור.