Kemiallisen kiillotuksen ydin on samanlainen kuin elektrolyyttisen kiillotuksen, joka sekin on pinnan liuotusprosessi. Kemiallisten reagenssien selektiivinen liuotusvaikutus näytteiden pinnan epätasaisiin alueisiin on menetelmä kulumisjälkien, eroosion ja tasoittumisen poistamiseksi.

Kemiallisen kiillotuksen edut: kemiallinen kiillotuslaite on yksinkertainen ja pystyy käsittelemään monimutkaisempien osien muotoa.

Kemiallisen kiillotuksen haitat: kemiallisen kiillotuksen laatu on heikompi kuin sähkökiillotuksen; kemiallisessa kiillotuksessa käytettävän liuoksen säätö ja regenerointi on vaikeaa ja rajoitettua soveltamista. Kemiallisessa kiillotuksessa typpihappo vapauttaa paljon keltaista ja ruskeaa haitallista kaasua, joka aiheuttaa vakavaa ympäristön saastumista.