A kémiai polírozás lényege hasonló az elektrolitikus polírozáshoz, amely szintén egy felületoldó eljárás. A kémiai reagensek szelektív oldó hatása a minták felületén lévő egyenetlen területeken egy módszer a kopásnyomok, az erózió és a kiegyenlítődés kiküszöbölésére.

A kémiai polírozás előnyei: a kémiai polírozó berendezések egyszerűek, bonyolultabb alkatrészek alakját is képesek kezelni.

A kémiai polírozás hátrányai: a kémiai polírozás minősége gyengébb, mint az elektropolírozásé; a kémiai polírozáshoz használt oldat beállítása és regenerálása nehézkes és korlátozottan alkalmazható. A kémiai polírozás során a salétromsav sok sárga és barna színű káros gázt bocsát ki, ami súlyos környezetszennyezést okoz.