Keemilise poleerimise olemus sarnaneb elektrolüütilise poleerimise omaga, mis on samuti pinna lahustamise protsess. Keemiliste reagentide selektiivne lahustav toime proovide pinna ebatasastele aladele on meetod kulumisjälgede, erosiooni ja tasandamise kõrvaldamiseks.

Keemilise poleerimise eelised: keemilise poleerimise seadmed on lihtsad, saavad hakkama keerukamate detailide kujuga.

Keemilise poleerimise puudused: keemilise poleerimise kvaliteet on elektropoleerimisest halvem; keemilisel poleerimisel kasutatava lahuse reguleerimine ja regenereerimine on keeruline ja piiratud rakendusega. Keemilise poleerimise käigus eraldab lämmastikhape palju kollast ja pruuni kahjulikku gaasi, mis põhjustab tõsist keskkonnareostust.