สาระสำคัญของการขัดด้วยสารเคมีนั้นคล้ายคลึงกับการขัดด้วยไฟฟ้า ซึ่งเป็นกระบวนการละลายพื้นผิวเช่นกัน ผลของสารเคมีที่ละลายอย่างเฉพาะเจาะจงบนพื้นที่ผิวที่ไม่เรียบของตัวอย่าง เป็นวิธีการกำจัดรอยสึกหรอ การสึกกร่อน และการปรับระดับ

ข้อดีของการขัดด้วยสารเคมี: อุปกรณ์ขัดด้วยสารเคมีใช้งานง่าย สามารถรองรับรูปร่างชิ้นส่วนที่ซับซ้อนมากขึ้นได้

ข้อเสียของการขัดด้วยสารเคมี: คุณภาพของการขัดด้วยสารเคมีจะด้อยกว่าการขัดด้วยไฟฟ้า การปรับและการสร้างใหม่ของสารละลายที่ใช้ในการขัดด้วยสารเคมีนั้นทำได้ยากและจำกัดการใช้งาน ในกระบวนการขัดด้วยสารเคมี กรดไนตริกจะปล่อยก๊าซสีเหลืองและสีน้ำตาลที่เป็นอันตรายออกมาจำนวนมาก ซึ่งก่อให้เกิดมลภาวะต่อสิ่งแวดล้อมอย่างร้ายแรง